旋片式真空泵

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德国UniEquip：VACUCENTER 125型隔膜真空泵100%无油运转工作，抗化学物质腐蚀,适用于强腐蚀性气体与蒸汽的转移。

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安正低噪声无油空气压缩机是依照当今国际先进的技术,经专业人员的消化吸收设计而成的。采用了无油、自润滑、双缸或单缸、摇摆活塞式单级压缩技术原理，电机在50Hz的电源频率下的转速为 1425 RPM。

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实验室真空泵实验室真空泵主要技术参数（型号: MPR060E）终压力：60 mbar流速：0.6 m3/h 10L/min净重: 2.3kg电源 90-260V

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匀胶机：（Spin   Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜等其用途广泛包括适合半导体大型晶圆硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,华阳板等各种胶体的工艺制版表面涂覆或光刻工

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选用无有活塞泵压缩气体，气体输出无油，气压采用压力传感器与电子电路控制，能在0-0.09Mpa内任意设定压力，可在设定值至设定值降低0.005Mpa至设定值内循环控制，达到恒压目的。与需要压力恒定、输入压力较低的设备上配套功率：100W  排气量：10L/min  储气罐：1.8L  

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